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平麵平晶標(biāo)準(zhǔn)圖譜
日期：2025-09-24 07:48
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摘要：
平麵平晶標(biāo)準(zhǔn)圖譜
具有兩個(gè)（或一個(gè)）光學(xué)測(cè)量平麵的正圓柱形或長(zhǎng)方形的量規(guī)。光學(xué)測(cè)量平麵是表麵粗糙度數(shù)值和平麵度誤差都極小的玻璃平麵，它能夠產(chǎn)生光波乾涉條紋（見(jiàn)激光測(cè)長(zhǎng)技術(shù)）。平晶有平麵平晶和平行平晶兩種。平麵平晶用於測(cè)量高光潔表麵的平麵度誤差，為用平麵平晶檢驗(yàn)量塊測(cè)量麵的平麵度誤差。平行平晶的兩個(gè)光學(xué)測(cè)量平麵是相互平行的，用於測(cè)量?jī)筛吖鉂嵄睃I的平行度誤差，例如千分尺兩測(cè)量麵的平行度誤差.平晶用光學(xué)玻璃或石英玻璃製造。圓柱形平麵平晶的直徑通常為 45～150毫米。其光學(xué)測(cè)量平麵的平麵度誤差為:1級(jí)精度的為0.03～0.05微米；2級(jí)精度的為0.1微米。常見(jiàn)的長(zhǎng)方形平麵平晶的有效長(zhǎng)度一般為200毫米。
平麵平晶：是以光波乾涉原理為基礎(chǔ)，利用平晶的測(cè)量麵與試件的被測(cè)量麵之間所出現(xiàn)的乾涉條紋來(lái)測(cè)量被測(cè)量麵的平麵度。
平麵平晶：用於檢定量塊的研合性和平麵度以儀器和量具的測(cè)量麵、工作麵的平麵度，例如，平麵光學(xué)零件、**平臺(tái)、平板、導(dǎo)軌、密封件等。亦可用於檢定高精度的平麵零件。
平麵平晶：特彆適用於計(jì)量單位、實(shí)驗(yàn)室作為標(biāo)準(zhǔn)平麵和樣板。
